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Vide élevé
XVD2, Valve haute vide, Vent lisse
La série de vannes à évent et à faible frottement de la série XVD2 est une série de vannes normalement fermées avec des types de connexions VCR (mâle et femelle) et Swagelok. Le raccordement de l'alimentation principale est de 1/4" et le diamètre de l'orifice est de 3 mm. Les matériaux utilisés sont SUS316L (corps et soufflets) SUS304 (membrane) et Viton (vanne et joint externe).
Angle et Vannes en ligne
L’angle de vide élevé et les valves en ligne sont utilisés dans des applications industrielles utilisant des gaz de vide et de procédé élevés. Les industries courantes qui peuvent utiliser ces valves angulaires comprennent la production de semi-conducteurs, solaires et autres électoniques, ainsi que la fabrication alimentaire et pharmaceutique.
fendus Vannes
La valve à fente de la série XGT convient à la valve de cloison entre la chambre de serrure de charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans l’équipement de fabrication de semi-conducteur, etc.
Electrovanne
Series XSA is a normally closed solenoid valve suitable for air or inert gas in high vacuum applications. This valve functions properly at an operating pressure as low as 1x10-6Pa(absolute). Face Seal and compression fitting options offer extremely low levels of internal and external leakage. Two DC and eight AC voltage options are available, paired with multiple electrical entry styles.
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