XGT *, à vide élevé Slit Valve

Les vannes fendues de la série XGT peuvent être employées avec la vanne de cloisonnement entre la chambre de verrouillage de la charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans les appareils de fabrication de semi-conducteurs, etc.

  • Longue durée de vie: 3 millions de cycles (dans la plage de température standard)
  • Faible génération de particules: réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit actuel)
  • Maintenance simplifiée
  • Remplacement facile du soufflet
  • Le portail peut être remplacé par le haut (sur commande)
  • Mesures de sécurité
  • A mécanique le mécanisme de verrouillage d'extrémité a été adopté
XGT *, à vide élevé Slit Valve
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Sélectionner les options du produit
Sélectionnez les valeurs dans la liste déroulante afin de configurer la référence.
Taper Configuration Status
Taille de la vanne Configuration Status
Type de distributeur Configuration Status
Taille de la fenêtre d'ouverture Configuration Status
Matériau du joint torique Configuration Status
Détecteur et Connecteur Configuration Status
Verrouillage de tige Configuration Status
Les options en :
  • Gris ne sont pas compatibles avec l'une des valeurs sélectionnées.
  • Rouge sont en conflit avec l'une des valeurs sélectionnées pour les options.
  • Orange ne sont pas recommandées.

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