XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle

Série XGTP fente fonctions de valve de portail entre les chambres de matériel semi-conducteur. positions typiques incluent entre la chambre de transfert et la chambre de sas de chargement ou de transfert et les chambres de traitement. Le XGTP a été conçu pour faciliter la maintenance, y compris l'accès facile à remplacer le soufflet de l'actionneur ou la porte. Faible génération de particules et un cycle de 3 millions de survie sevice productivité élevée des outils semi-conducteurs.

  • Grande durée de vie: 3 million cycles.
  • Faible génération de particules: Réduction de 1/5 min.
  • Soufflet remplaçable.
  • Verrouillage mécanique d'extrémité.
  • Réduction de la consommation d'air de 22%.
XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle
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Détecteur et Connecteur Configuration Status
Verrouillage de tige Configuration Status
Les options en :
  • Gris ne sont pas compatibles avec l'une des valeurs sélectionnées.
  • Rouge sont en conflit avec l'une des valeurs sélectionnées pour les options.
  • Orange ne sont pas recommandées.

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